随着现代工业的不断发展,需要越来越高的空气洁净等级,FFU(Fan Filter Unit)是模数化的小型风机过滤单元,一般安装在顶棚框架上,空气由FFU的风机加压后经HEPA或ULPA过滤送入室内,由换气次数决定不同的室内洁净度要求。FFU系统本身也有着其独特的优势,主要包括以下几点:
1. 缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
2. 减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。
3. 灵便性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个大型洁净厂房里,可根据需要分区控制。随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
4. 可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
5. 节约空间。相比较RCU+HEPA系统,MAU+FFU+DC系统占用送风静压箱内较少层高,基本不占用洁净室内空间。而RCU不论是吊挂在天板上方还是设置在洁净室,均占用不少空间。
6. 负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于厂房为负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
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