为防止悬浮粒子从没有使用高效空气过滤器终端过滤的室外或邻室进人洁净室,洁净室中必须维持一定的正压。洁净室与室外的正压差不小于10Pa;洁净室与非洁净区或高等级的洁净室与低等级的洁净室之间的正压差不小于5Pa。
维持洁净室正压所需的风量可根据缝隙面积进行计算;或根据由实验确定的单位长度缝隙漏风量进行计算;或采用换气次数进行估算。
当系统只为1~2间洁净室服务时,洁净室的正压值只需在系统投入运行时进行调整一在门窗关闭的状态下,调整风量,使回风量与排风量之和小于送风量,以使室内正压值达到设计值。当一个系统为多个洁净室服务时,各房间的正压值就难于调整到规定值。为此,应在各洁净室设置正压装置,如余压阀。
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