制氮机后级纯化设备的管道安装和清洁需要如何处理？

高纯气体管网的安装，必须避免任何轻微的泄漏。因为由制氮机产出的氮气，再经过纯化后，氮气的纯度很高，即使管网内气流维持正压，外部空气亦会反扩散，渗入管内，污染高纯气体。

管道的连接可采用焊接，螺纹连接和法兰连接等形式。采用焊接较为可靠，对不锈钢管和铝合金管可采用氩弧焊，铜管可采用有保护气体的银铜焊。采用螺纹连接或法兰连接大都需要密封垫圈。密封垫圈的材料一般用真空橡胶、硅橡胶和氟塑料以及铅、铝、钢和银等软金属。不能用石棉橡胶垫，此种材料能渗透气体。

高纯气体管道，在安装前应先用溶剂（汽油、酒精、丙酮和四氯化碳等）除去油脂和胶质。管道内壁用长纤维织物进行擦洗，除去粘附的各种金属氧化物、尘埃和油脂等杂质。终端纯化装置与使用点如外延炉和扩散炉等连接的不锈钢管道，应用3%盐酸、16%硝酸、4%氢氟酸和77%去离子水的混合溶液进行化学清洗数分钟，然后用纯水漂洗和干燥。再浸入密度为1.115的冷硝酸槽内进行15分钟的钝化。最后用热的干燥氮气（约150℃）把管道内壁吹干。经过清洁干燥处理的管道，必须把两端用塑料密封盛放备用、以免在盛放过程中重新沾污。