天然水、自来水等各种水源中都存在着热原,目前比较一致的认识是,热原是指多糖类物质,也就是细菌内毒素。细菌内毒素是革兰阴性菌细胞壁外壁层上特有的脂多糖,结构为单个粒子,其相对分子质量在10000~20000之间,体积为1~50μm,在水中可以形成比较大的成团密集体,造成颗粒性污染,它具有广泛的生物活性和热原活性。哪里有细菌,哪里就有细菌内毒素。
美国ASTM电子级水的标准从1991年开始有细菌内毒素的指标要求。对于ASTM-E1级水,内毒素含量要求小于0.03EU/ml,ASTM-E2级水,内毒素要求小于0.25EU/ml;我国电子级水尚无此指标,考虑到我国兆位电路的发展已进人亚微米时代,细菌内毒素的存在就意味着颗粒的污染,因此在亚微米电路生产中必须严格控制细菌内毒素含量小于0.03EU/ml。
用RO或双级RO水处理设备可以去除水中的细菌内毒素。
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