洁净气流分布对洁净室等级起着重要的作用。根据洁净气流的流动状态分,主要有非单向流洁净室、单向流洁净室和矢流洁净室三种气流分布的洁净室。
非单向流洁净室,以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。下图为几种典型的非单向流洁净室。这几个非单向流洁净室的共同特点是:
1. 高效空气过滤器(或者亚高效空气过滤器)等终端过滤尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上;
2. 回风口均设在洁净房间的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。
非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。
图中(a)是顶棚均布高效过滤器风口的方案,是目前非单向流型洁净室用得比较多的一种流型。在风口下方的一定范围内基本上处于送风气流(已混有一部分室内空气)中。为了使送风气流下部的范围扩大,高效空气过滤器下装有扩散风口(又称扩散板)。但扩散风口在较长时间停运时会积灰,再次运行时必须擦净。当房间层高较高时,可以用图(d)的形式,即在高效过滤器出口接下送型散流器。在气流分布设计时,散流器的密度应能保证工作区处于下送风气流中。图中(b)是在房间顶棚的中央设一条孔板,从而可以使多个高效过滤器的风量在室内形成一条比较均匀的送风带,工作台可以设在孔板下方;缺点是孔板有积灰的可能。当房间层高很低而无法采用上送风时,可采用侧送风流型,工作区处在回风区,如图(c)所示,因此这种流型对洁净室来说很不理想,适宜用在洁净等级不高的洁净室中。
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