洁净气流分布对洁净室等级起着重要的作用。根据洁净气流的流动状态分,主要有非单向流洁净室、单向流洁净室和矢流洁净室三种气流分布的洁净室。
单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动,并且在横断面上风速一致。
下图(a)为一垂直单向流洁净室,全顶棚满布高效空气过滤器,地板为漏空的格栅地板,因此气流在流动过程中的流向、流速几乎不变,也比较均匀,无涡流。它不是靠掺混的稀释作用达到室内的洁净度,而是气流的推出作用,将室内的污染物从整个回风端推出,所以这种洁净室的流型也被称为“活塞流”、“平推流"。垂直单向流洁净室的工作区完全在送风气流中,因此可以获得很高的洁净等级,通常用于5级及更高级别的洁净室中,但它的造价昂贵。
图(b)是准垂直单向流,它是垂直单向流的一种变形,它用两侧的回风口替代全地板回风,从结构上简化了一些,但它不能保持全室都是垂直单向流,在两侧和中间的流线是垂直向下的(除了下部区域),在1/4室宽处最先出现流线向回风口弯曲,且在中部离地某一高度处出现涡流三角区。涡流三角区的高度与室宽有关,试验和大涡数值模拟结果表明,涡流三角区的离地高度约为室宽的1/5~1/6。选用合理的室宽,保证工作区以上是单向流,这种洁净室不失为一种既经济又可获得较高洁净等级(可达5级)的流型。
图(c)是水平单向流洁净室,它也是“平推流"的流型,但气流的下游,尤其是接近回风端处,洁净度下降,因此只能保证上游区有较高的洁净等级。但它的造价比垂直单向流洁净室要低,水平单向流可用于5级洁净度。
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