如何使用膜脱气水处理设备除氧？

在高纯水中一般均采用真空脱氧，放在水处理设备的前面，这样不仅除氧效果不好，而且不能保证前面脱氧后，在终端出水时保持低的溶解氧水平。水中溶解氧高会在接触硅片时表面生成一层无定形硅，影响器件材料的性能，因此对ULSI用水中氧的含量要求小于50μg/L，采用膜交换器脱氧，能使水中溶解氧做到小于15μg/L或小于1μg/L，同时还能脱除水中游离的二氧化碳。

膜交换器脱氧简单原理为：气相[O₂]=液相[O₂]

当气-液达到平衡时，平衡常数为：K=P_O2/[O₂]

若设法抽气或用N₂气通气吹扫，或两者组合，使气相中的氧分压 (P_O2)下降，上式左移，液相中氧的浓度 [O₂]下降，达到新的平衡，使水中的氧脱除。根据水流量的大小，可采用平行并联配置膜交换器；若考虑脱氧效率则采用串联配置。